扫描电子显微镜主要成像信号有哪几种 扫描电镜的主要参数有哪些

一、扫描电子显微镜主要成像信号有哪几种

扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。那么你知道扫描电子显微镜主要成像信号有哪几种吗？

1、对于形貌成像：主要信号是二次电子，背散射电子也有使用。吸收电流成像，是比较特殊的应用，往往用于专门材料检测。

2、对于成分分布成像：背散射电子，阴极荧光，元素特征X射线等。

二、 扫描电镜的主要参数有哪些

扫描电镜主要参数：分辨率、放大倍数、景深。

1、分辨率

分辨率是扫描电镜最主要的性能指标，对成像而言，它是指能分辨两点之间的最小距离；对微区成分分析而言，它是指能分析的最小区域。扫描电镜的分辨率通过测定图像中两个颗粒(或区域)间的最小距离来确定的，测定的方法是在已知放大倍数的条件下，把在图像上测到的最小间距除以放大倍数所得数值就是分辨率。

2、放大倍数

当入射电子束做光栅扫描时，若电子束在样品表面扫描的幅度为As，在显光屏上阴极射线同步扫描的幅度为Ac，则放大倍数可表示为M=Ac/As。

由于荧光屏的尺寸是不变的，因此，放大倍数的变化只要通过改变电子束在样品表面的扫描幅度As来实现。

目前商品化的扫面电镜的放大倍数可以从20倍到20万倍之间连续调节。

3、景深

景深是指透镜对高低不平的样品各部位能同时聚焦成像的能力范围，这个范围用一段距离表示。

如果景深为Ds，只要样品表面高低范围值小于Ds，则在荧光屏上就能清晰地反映出样品的表面形貌。正是由于扫描电镜景深大，特别适用于粗糙表面和断口的分析观察；图像富有立体感、真实感、易于识别和解释。