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2025-04-09
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北京华卓精科科技股份有限公司成立于2012年5月9日,是国家高新技术企业,主营业务为以超精密测控技术为基础,研究、开发以及生产超精密测控设备部件、超精密测控设备整机并提供相关技术开发服务。
| 专利申请号 | 专利名称 | 专利详情 |
| ZL200910172949.9 | 采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统 | 第二十届中国专利银奖(2018年) |