激光干涉仪使用方法步骤 激光干涉仪使用教程

激光干涉仪使用方法步骤

1.开机与预热

接通电源，打开激光干涉仪的电源开关。激光器需要预热，He-Ne激光器预热约30分钟，半导体激光器预热约10分钟，待激光指示灯变为绿色，表明激光已稳定。

2.连接设备

将激光干涉仪与计算机系统通过通讯电缆连接。如果需要环境补偿，连接环境补偿单元（如EC10）。确保所有设备连接牢固，电源线接地良好。

3.启动测量软件

打开计算机，启动测量软件。根据软件提示，输入必要的参数，如材料膨胀系数、环境补偿参数（温度、气压、湿度）等。

4.安装光学元件

固定反射镜：使用夹紧块、安装杆和磁性表座，将反射镜固定在机床的不可运动部件或其它固定部件上。

移动反射镜：同样使用夹紧块、安装杆和磁性表座，将反射镜固定在机床的运动部件上。

干涉镜：将反射镜和分光镜组合成干涉镜，安装在适当位置。

5.调整光路

粗调：使用瞄准槽或靶标，初步调整激光光路，使激光大致通过各镜片的中心。

细调：调整干涉镜和反射镜的俯仰和偏摆旋钮，使测量光和参考光的反射光斑在光电探测器上重合。观察干涉条纹，确保条纹清晰、数量适中（一般少于10条），分布均匀。调整光强，使测量光和参考光的光强匹配，差值不超过30%。

6.设定目标值

根据测量要求，设定目标值，目标值的设定应尽可能覆盖整个行程范围。

7.数据采集

启动测量程序，使被测物按预设轨迹运动。软件实时显示测量数据，如位移曲线、角度偏差等。如需记录数据，点击“开始采集”，测量结束后导出数据。

8.数据分析

选择“数据分析”菜单，按照相关标准要求进行数据分析。系统给出测量结果，如双向定位精度、重复性、反向偏差等精度指标。

9.关机与整理

关闭测量软件，关闭激光干涉仪和环境补偿单元。断开电源，拆卸所有电源线和电缆线。拆卸光学元件、夹紧块、安装杆和磁性表座，妥善保管。清点所有附件，防止丢失。