什么是探针台 探针台的分类有哪些

一、什么是探针台

探针台（Probe Station）是一种用于对半导体器件进行电性能测试的重要设备。它通常由精密的机械结构、高性能的探针针头和电性能测试仪器组成。探针台可以对半导体芯片、集成电路和其他微电子器件进行直接的电性能测试，从而为研究和生产提供有价值的信息。

二、探针台的分类有哪些

一般根据用户测试样品、测试环境、应用类别、产品级别以及操作方式分类，如下：

1、按测试样品分类，可分为：晶圆测试探针台、LED测试探针台、功率器件测试探针台、MEMS测试探针台、PCB测试探针台、液晶面板测试探针台、太阳能电池片测试探针台、材料表面电阻率测试探针台、纳米器件测试探针台。

2、按应用及测试环境分类，可分为：高频、射频及微波测试探针台、高/低温环境测试探针台、高/低温真空环境测试探针台、低电流（fA级）测试探针台、IC/IV/p-IV测试探针台、高压、大电流测试探针台、特殊气体环境测试探针台、磁场环境测试探针台、双面点针测试探针台、全封闭式探针台（非真空环境）。

3、按级别分类可分为：简易型探针台、标准型探针台、分析型探针台、高端型探针台。

4、按操作方式可分为：手动型、半自动型、全自动型。

5、按特殊应用测试分为：非标准类结构测试探针台。