| 一种多晶硅生产中还原尾气热能回收利用的方法和装置 | |
| 专利申请号 | 201010574832.6 |
| 专利名称 | 一种多晶硅生产中还原尾气热能回收利用的方法和装置 |
| 专利详情 | 第十五届中国专利优秀奖(2013年) |
| 催化氢化四氯化硅的催化剂及其制备方法 | |
| 专利申请号 | ZL201210437980.2 |
| 专利名称 | 催化氢化四氯化硅的催化剂及其制备方法 |
| 专利详情 | 第十七届中国专利优秀奖(2015年) |
| 一种电子级多晶硅生产中回收氢气的净化处理工艺 | |
| 专利申请号 | ZL201310569193.8 |
| 专利名称 | 一种电子级多晶硅生产中回收氢气的净化处理工艺 |
| 专利详情 | 第十九届中国专利优秀奖(2017年) |
| 一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置 | |
| 专利申请号 | ZL201210346204.1 |
| 专利名称 | 一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置 |
| 专利详情 | 第二十届中国专利优秀奖(2018年) |