| 工业级四氯化硅的处理工艺 | |
| 专利申请号 | ZL201210141828.X |
| 专利名称 | 工业级四氯化硅的处理工艺 |
| 专利详情 | 第二十一届中国专利优秀奖(2019年) |
| 一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置 | |
| 专利申请号 | ZL201210346204.1 |
| 专利名称 | 一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置 |
| 专利详情 | 第二十届中国专利优秀奖(2018年) |
| 一种电子级多晶硅生产中回收氢气的净化处理工艺 | |
| 专利申请号 | ZL201310569193.8 |
| 专利名称 | 一种电子级多晶硅生产中回收氢气的净化处理工艺 |
| 专利详情 | 第十九届中国专利优秀奖(2017年) |
| 催化氢化四氯化硅的催化剂及其制备方法 | |
| 专利申请号 | ZL201210437980.2 |
| 专利名称 | 催化氢化四氯化硅的催化剂及其制备方法 |
| 专利详情 | 第十七届中国专利优秀奖(2015年) |